半导体知识问答

‌评估蓝宝石衬底质量的关键要素‌：

• ‌结构与热膨胀匹配‌：蓝宝石与外延膜晶体结构应接近，热膨胀系数需匹配，以保证良好的结晶性能和器件稳定性‌1。

• ‌表面质量‌：需关注表面粗糙度、缺陷及加工质量，通过二维、三维检测系统进行定量表征，确保表面光滑无缺陷‌23。

• ‌光学性能‌：高光学透过率是关键，需测试特定波段内的透过率，确保良好的透光性，提升LED发光效率‌3。

• ‌物理与机械性能‌：需具备高硬度、耐磨性、化学稳定性及抗热冲击能力，以应对恶劣环境‌13。

• ‌制备成本与可行性‌：理想的衬底应易于制备，成本适中，支持产业化需求‌1。

综上所述，评估蓝宝石衬底质量需综合考虑结构、表面、光学、物理机械性能及制备成本等多方面因素。