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InAs衬底选型有哪些注意事项?
一、什么是InAs衬底? 砷化铟(InAs)是一种III-V族化合物半导体材料,其禁带宽度约为0.354 eV(室温),是常见化合物半导体中带隙最窄的材料之一。InAs具有极高的电子迁移率(本征材料迁移率可超过20000 cm²/V·s)和较小的电子有效质量,这使它在高速电子器件、红外探测领域拥有得天独厚的优势。 InAs衬底通常采用垂直布里奇曼法(VB)或区熔法生长单晶,经切割、研磨、抛光后制成晶片。目前市场上主流规格为50mm(2英寸)和76mm(3英寸)直径晶片,晶向以(100)为主,厚度约500μm,可提供单面抛光或双面抛光产品,并能按客户要求定制特殊规格。 二、InAs衬底的核心规格参数 以下是一份典型的InAs晶片规格表,涵盖非掺杂及三种常见掺杂方式的产品,方便大家快速对比选型: 掺杂剂 直径(mm) 导电类型 载流子浓度(cm⁻³) 迁移率(cm²/V·s) 位错密度EPD(cm⁻²) 非掺杂 InAs 50/76 N型 5×10¹⁶ ≥2×10⁴ <5×10⁴ Sn-InAs 50/76 N型 (5-20)×10¹⁷ >2000…






