一、什么是镀铂硅片-硅片为什么要镀金属膜？
镀铂硅片是在硅片表面沉积一层高纯铂（Pt）薄膜的复合基底，通常带钛（Ti）粘结层，兼具硅的微加工兼容性与铂的高导电、耐腐蚀、催化活性，广泛用于传感、电化学、MEMS 与半导体领域。
二、硅片为什么要镀金属膜？镀铂硅片有什么好处？
镀铂硅片，其结构为硅片+氧化膜+金属粘结层+铂层，铂具有111取向，成膜质量高。此外，还有镀金硅片、镀铜硅片以及其他金属膜（如银、钛、镍、钨等）的镀膜工艺，这些金属膜的加工能显著提升器件的应用性能；
三、镀铂硅片的基本结构与常见规格？
- 基底：单晶硅片（N/P 型、本征高阻；晶向 <100>/<111>；尺寸 2/4/6/8 英寸，厚度 500–725 μm）。
- 粘结层：钛（Ti）5–10 nm，增强铂层附着力，防止脱落。
- 铂镀层：99.99%–99.999% 高纯铂，厚度 50–200 nm（常见 100 nm），单面 / 双面抛光。
四、我公司提供的镀膜硅片参数表（镀金硅片、镀银硅片、镀铂硅片、镀铜硅片、镀铝硅片均可提供）：
| 镀金属膜硅片参数表 | ||||
| 直径 | 2英寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 |
| 导电类型 | P,N,U n | P,N,U n | P,N,U n | P,N,U n |
| 晶向 | <100>,<111> | <100>,<111> | <100>,<111> | <100>,<111> |
| 基底厚度（um） | 200,280,400,500,As required | 450,500,525,As required | 625,650,675,As required | 650,700,725,775,As required |
| 金属膜材料 | 金膜Au/ 铂膜Pt/ 铝膜Al/ 铜膜Cu/ 镍膜Ni /银膜Ag等 | |||
| 基底材料 | 硅片、石英、BF33等玻璃 | |||
| 镀膜工艺 | 磁控溅射/热蒸发/电镀等 | |||
| 膜层厚度 | 10nm、50nm、100nm、150nm、300nm、500nm、1um等厚度，可定制 | |||
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