一、4英寸氮化镓自支撑衬底的基本规格数据：
标称 4 英寸 = Φ100±1mm，行业通用厚度：
- 标准量产片：400±50μm / 480±50μm
- 厚片定制（大功率功率器件）：600~800μm
定位边 Flat 规范（标准 M 面基准）：
- 主定位边：32±1mm，(10-10) M 面
- 副定位边：18±1mm，顺时针 90° 分布
二、4英寸氮化镓自支撑衬底的产品性能参数表：
三、4英寸氮化镓衬底核心工艺指标
| 参数 | 国产 HVPE 量产标准 | 高端低缺陷料（进口 / 氨热） |
|---|---|---|
| 晶向 | (0001) Ga 面，M 轴偏角 0.4°±0.2° | 0.35°±0.1° |
| TTV 总厚度差 | ≤30μm | ≤15μm |
| BOW 翘曲度 | ≤±30μm | ≤±15μm |
| XRD(0002) FWHM | ≤80 arcsec | ≤40 arcsec |
| 位错密度 EPD | 1×10⁶~5×10⁶ cm⁻² | ＜1×10⁶（氨热＜5×10⁴） |
| 表面粗糙度 Ra（正面 CMP） | ＜0.3nm（10×10μm AFM） | ＜0.15nm |
| 有效可用面积 | ≥90% | ≥92% |
| 抛光方案 | 标准：正面单抛、背面细磨；可选双面抛光 | 双面抛光标配 |
四、贵州火影科技有限公司4英寸氮化镓衬底快速选购指南：
车规垂直功率管、大功率 LED → Si 掺杂 N 型 4 寸 HVPE
5G/6G 射频、毫米波雷达 → Fe 半绝缘 4 寸衬底
高端大功率激光器、前沿学术研究 → 氨热法低 EPD 非掺杂 4 寸
小批量研发验证、预算有限 → 国产 HVPE 单抛 4 寸样品
