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CZ直拉硅片

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一、什么是CZ直拉硅片?

CZ直拉硅片-是指通过直拉法生长的单晶硅片。CZ = Czochralski 直拉法,是目前量产规模最大、应用最广的单晶硅片。

是将多晶硅放入石英坩埚高温熔化,用籽晶浸入硅熔体,一边旋转一边向上提拉,逐步生长出圆柱形单晶硅棒,再切片、抛光制成硅片。特点:全程坩埚接触熔体,工艺成熟、易做大尺寸、适合规模化量产。

CZ直拉硅片-1

二、单晶硅片的产能现状?

单晶硅片简称硅片,是一种圆形的片状材料,其原子经过人工重新排列,是具有晶向的高纯半导体材料。由于硅元素在占地壳质量的26%,所以单晶硅是目前主要的半导体材料。单晶硅是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在凝固时硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则这些晶粒平行结合起来便结晶成单晶硅。集成电路级别的纯度要求达到9N以上(99.9999999%),区熔单晶硅片甚至达到11N(99.999999999%)以上。通常通过直拉法(CZ)和区熔法(FZ)长晶得到,其晶向通过籽晶来决定。单晶硅是目前最重要的半导体材料,占据半导体材料市场的90%以上,是信息技术和集成电路的基础材料。

三、直拉硅片的产品参数表?

Diameter 2″ 3″ 4″ 5″ 6″ 8″ 12″
Grade  Prime
Growth Method CZ
Orientation  < 1-0-0 > , < 1-1-1 > , < 1-1-0 >
Type/Dopant P Type/Boron , N Type/Phos,  N Type/As, N Type/Sb
Thickness (μm) 279 380 525 625 675 725 775
Thickness Tolerance Standard ± 25μm, Maximum Capabilities ± 5μm ± 20μm ± 20μm
Resistivity  0.001 – 100 ohm-cm
Surface Finished P/E , P/P, E/E, G/G
TTV (μm) Standard < 10 um, Maximum Capabilities <5 um
Bow/Warp  (?m) Standard <40 um,  Maximum Capabilities <20 um <40μm <40μm
Particle <10@0.5um; <10@0.3um; <10@0.2um;

四、直拉硅片的核心参数、性能特征及应用。

CZ直拉硅片(直拉单晶硅片)核心参数与特性
特性维度 核心参数与说明
核心制备工艺 将多晶硅放入石英坩埚高温熔化,用籽晶浸入硅熔体,一边旋转一边向上提拉,逐步生长出圆柱形单晶硅棒,再切片、抛光制成硅片;全程坩埚接触熔体,工艺成熟、易做大尺寸、适合规模化量产
氧、碳含量 氧含量通常为10¹⁶-10¹⁸ atoms/cm³,远高于FZ区熔硅片,存在氧沉淀、氧施主等缺陷;适量氧可增强晶片机械强度
材料纯度 杂质含量为ppm级(10⁻⁶),满足绝大多数通用半导体需求,达不到FZ区熔硅片的超高纯标准
电阻率范围 常规以低阻、中阻为主,一般<100 Ω·cm,很难实现超高阻
少数载流子寿命 一般为几十~几百μs,整体性能满足通用器件,弱于FZ区熔硅片
主流尺寸 主流6/8/12英寸,目前半导体主力为12英寸,可稳定量产大尺寸晶圆,最高可达18英寸
成本与市场占比 工艺简单、良率高、性价比优,占据全球85%以上的单晶硅片市场
核心优点 1. 可做大尺寸,适合大规模量产;2. 价格低廉、供应链成熟;3. 机械强度好,加工、封装不易裂片;4. 适配绝大多数民用、商用半导体与光伏产品
核心缺点 1. 氧含量高,不适合高压、射频、高灵敏探测器场景;2. 难以制备超高阻、超高纯硅片;3. 耐辐照、抗老化、低噪声性能弱于FZ区熔硅片
主要应用场景 1. 各类集成电路:逻辑芯片、存储芯片、MCU、传感器;2. 消费电子、工控、汽车中低压功率器件;3. 主流光伏硅片(光伏电池90%以上使用CZ硅);4. LED、分立器件、普通模拟芯片等通用半导体领域

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