一、什么是特殊晶向蓝宝石衬底？
特殊晶向蓝宝石衬底，指偏离常规 C 面 (0001) 的A、M、R、N/V等晶向，以及小角度错切 / 斜切衬底，核心价值是调控极化、晶格匹配、应力与表面台阶，支撑非极性 / 半极性 GaN、二维材料、射频与光电器件的高性能外延。
二、特殊晶向A-M_R向蓝宝石单晶衬底规格书。
| 蓝宝石A-M-R向单晶衬底（2~6英寸） | |||||||||
| 材料成分 | >99.99%，High Purity， Mono-crystalline Al2O3 (KY) | ||||||||
| 端面晶向 | A-plane (11-20) ± 0.1° | R-plane (1-102) ± 0.1° | M-plane (1-100) ± 0.1° | ||||||
| 直径 | 50.8mm | 100mm | 150mm | 50.8mm | 100mm | 150mm | 50.8mm | 100mm | 150mm |
| 厚度 | 430um | 650um | 1000um | 430um | 650um | 1000um | 430um | 650um | 1000um |
| 定位边晶向 | M-plane ± 0.3° | Counter clockwise 45 from C-axis | A-plane ± 0.3° | ||||||
| 定位边长度 | 16mm | 30mm | 47.5mm | 16mm | 30mm | 47.5mm | 16mm | 30mm | 47.5mm |
| 正面状态 | Epi-polished,Ra<0.3nm | ||||||||
| 反面状态 | SSP:Fine-ground,Ra=0.8-1.2um; DSP:Epi-polished,Ra<0.3nm | ||||||||
| 总厚度偏差TTV | <10 um | <20 um | <25 um | <10 um | <20 um | <25 um | <10 um | <20 um | <25 um |
| 弯曲度BOW | -15～0 um | -25～0 um | -35～0 um | -15～0 um | -25～0 um | -35～0 um | -15～0 um | -25～0 um | -35～0 um |
| 翘曲度WARP | <15 um | <30 um | <40 um | <15 um | <30 um | <40 um | <15 um | <25 um | <40 um |
| 边缘去除 | ≤2 mm | ||||||||
三、主流特殊晶向对比
- A 面 (11-20)：棱柱面、非极性；表面台阶规整、双折射强；介电均匀、绝缘好。
- M 面 (10-10)：主棱柱面、非极性；无自发极化，抑制 QCSE；机械强度高、刻蚀均匀性好。
- R 面 (1-102)：菱面、半极性；与 Si/GaN 晶格匹配优，热应力低；适合异质外延。
- N 面 (11-23)/V 面 (22-43)：高指数半极性面；调控 GaN 极性与晶面曲率，用于长波长 LED/LD。
- 错切 / 斜切 (Off‑cut)：C/A/M 面偏 1°–10°（常见 2°/4°）；表面形成原子台阶，消除反平行畴，提升外延单晶性。
四、不同的特殊晶向对比表
| 晶向 | 极性 | 热膨胀系数 (⊥c 轴，×10⁻⁶/K) | 表面特性 | 典型外延 |
|---|---|---|---|---|
| A(11-20) | 非极性 | ~7.5 | 台阶规整、各向异性 | 非极性 GaN、2D 材料 |
| M(10-10) | 非极性 | ~7.0 | 无极化场、低缺陷 | 绿光 LED、紫外探测器 |
| R(1-102) | 半极性 | ~8.0 | 晶格匹配优、低应力 | 硅异质外延、功率器件 |
| C+2° 错切 | 极性 | ~8.3 | 单向台阶、无畴壁 | 晶圆级 MoS₂、AlN |
五、我公司优势
我公司提供各种规格的特殊晶向蓝宝石衬底，支持定制加工。大量供应。有需要请联系本页微信二维码。
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